Détails du brevet

EP3038148 Titre: WAFER TEMPORARY BONDING METHOD AND THIN WAFER MANUFACTURING METHOD

Information de base

Numéro de publication:
EP3038148
Numéro de demande PCT:
Type:
Brevet européen délivré pour LU
Statut légal:
Echu
Numéro de la demande:
EP152015343
Numéro de publication PCT:
Nationalité du premier demandeur:
Langue de traduction:
Langue de publication de l’OEB:
Anglais
Titre anglais de l'invention:
WAFER TEMPORARY BONDING METHOD AND THIN WAFER MANUFACTURING METHOD
Titre français de l'invention:
PROCÉDÉ DE COLLAGE TEMPORAIRE DE TRANCHE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UNE TRANCHE MINCE
Titre allemand de l'invention:
VERFAHREN ZUR TEMPORÄREN WAFERBINDUNG UND DÜNNSCHICHTWAFERHERSTELLUNGSVERFAHREN
Numéro CCP:

Dates

Date de dépôt:
21/12/2015
Date de délivrance:
02/08/2017
Date de publication EP:
29/06/2016
Date de publication PCT:
Date de réception de la traduction des revendications:
Date de réception de la traduction (B1 EP Publication):
Date de réception de la traduction (B2 EP Publication):
Date de réception de la traduction (B3 EP Publication):
Date de publication:
02/08/2017
Date de publication EP B1:
02/08/2017
Date de publication EP B2:
Date de publication EP B3:
Date de déchéance:
21/12/2017
Date d’expiration:
21/12/2035
Date de renonciation:
Date de révocation:
Date d'annulation:

Titulaire

De:
02/08/2017
 
 

Nom:
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Adresse:
6-1, Ohtemachi 2-chome Chiyoda-ku, Tokyo, Japon (JP)

Inventeur

1

Nom:
TANABE, Masahito
Adresse:
Japon (JP)

2

Nom:
TAGAMI, Shohei
Adresse:
Japon (JP)

3

Nom:
YASUDA, Hiroyuki
Adresse:
Japon (JP)

4

Nom:
SUGO, Michihiro
Adresse:
Japon (JP)

Priorité

Numéro de priorité:
2014259813
Date de priorité:
24/12/2014
Pays de priorité:
Japon (JP)

Classification

Classification CIB:
C09J 7/02; H01L 21/683; B24B 37/30;

Publication

Bulletin européen des brevets

Numéro d’édition:
201731
Date de publication:
02/08/2017
Description:
Délivrance (B1)

Taxes annuelles

Date d’échéance de l'annuité:
Numéro de l'annuité:
Payeur prévu:
Date du dernier paiement:
Numéro de la dernière annuité payée:
Payeur:
Date de dépôt Type de document Nombre de pages
30/04/2018 Correspondance sortante 1