Détails du brevet

EP1325167 Titre: SPUTTERTARGET

Information de base

Numéro de publication:
EP1325167
Numéro de demande PCT:
PCT/EP/2001/009119
Type:
Brevet européen délivré pour LU
Statut légal:
Echu
Numéro de la demande:
EP019718865
Numéro de publication PCT:
WO/2002/012584
Nationalité du premier demandeur:
Langue de traduction:
Langue de publication de l’OEB:
Anglais
Titre anglais de l'invention:
SPUTTERTARGET
Titre français de l'invention:
CIBLE DE PULVERISATION CATHODIQUE
Titre allemand de l'invention:
ZERSTÄUBUNGSTARGET
Numéro CCP:

Dates

Date de dépôt:
07/08/2001
Date de délivrance:
04/08/2004
Date de publication EP:
04/08/2004
Date de publication PCT:
14/02/2002
Date de réception de la traduction des revendications:
Date de réception de la traduction (B1 EP Publication):
Date de réception de la traduction (B2 EP Publication):
Date de réception de la traduction (B3 EP Publication):
Date de publication:
09/07/2003
Date de publication EP B1:
04/08/2004
Date de publication EP B2:
Date de publication EP B3:
Date de déchéance:
07/08/2004
Date d’expiration:
07/08/2021
Date de renonciation:
Date de révocation:
Date d'annulation:

Titulaire

De:
21/07/2004
 
 

Nom:
CemeCon AG
Adresse:
Adenauerstrasse 20/B1, 52146 Würselen, Allemagne (DE)

Inventeur

1

Nom:
WUROPULOS Alexander
Adresse:
Allemagne (DE)

2

Nom:
HERMELER Bernd
Adresse:
Allemagne (DE)

Priorité

Numéro de priorité:
10039478
Date de priorité:
08/08/2000
Pays de priorité:
Allemagne (DE)

Classification

Classe principale CIB:
C23C 2/00;
Date de dépôt Type de document Nombre de pages